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DMD無(wú)掩膜光刻機(jī)

簡(jiǎn)要描述:DMD無(wú)掩膜光刻機(jī)SMART PRINT UV是一種基于DMD投影技術(shù)的無(wú)掩模光刻設(shè)備,可兼容多種電阻和基片。SMART PRINT UV可以生產(chǎn)任何微米分辨率的二維形狀,而不需要硬掩模。

  • 產(chǎn)品型號(hào):SMART PRINT UV
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2021-06-23
  • 訪  問(wèn)  量:2557
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應(yīng)用領(lǐng)域電子主要特性兼容i、h、g線光刻膠

DMD無(wú)掩膜光刻機(jī)

DMD無(wú)掩膜光刻機(jī)SMART PRINT UV是一種基于DMD投影技術(shù)的無(wú)掩模光刻設(shè)備,可兼容多種電阻和基片。SMART PRINT UV可以生產(chǎn)任何微米分辨率的二維形狀,而不需要硬掩模。基于改進(jìn)后的標(biāo)準(zhǔn)投影技術(shù),投影出具有微米分辨率的圖像,無(wú)掩膜光刻機(jī)SmartPrint無(wú)需任何進(jìn)一步步驟,就能直接從數(shù)字掩模光刻出您要的圖。無(wú)掩膜光刻機(jī)SmartPrint主要應(yīng)用是微流體,生物技術(shù)和微電子等領(lǐng)域光刻表面微納圖案。

 

DMD無(wú)掩膜光刻機(jī)主要特性:

兼容i、h、g線光刻膠

SmartPrint-UV配備了385 nm LED源,以兼容標(biāo)準(zhǔn)i, h和g線光刻膠,如SU8或AZ®1500系列

 

適用于各種各樣的基材

我們的物鏡范圍經(jīng)過(guò)精心選擇,具有較長(zhǎng)的工作距離(高達(dá)3厘米),使SP-UV成為一種非接觸式技術(shù),因此兼容非標(biāo)準(zhǔn)基材(非平的,靈活的,厚的)。

 

可調(diào)直寫范圍和分辨率——用戶可獲得四種不同的直寫分辨率      

 優(yōu)直寫分辨率1.5um                                                                     

                                     

 

兼容任何尺寸的樣品,最大5平方英寸                                         

對(duì)齊方式直觀——反饋相機(jī)與第二束590nm準(zhǔn)直光源疊加使用

                       

 

體積小,性價(jià)比高

 

DMD無(wú)掩膜光刻機(jī)應(yīng)用領(lǐng)域:

               

 光器件         微流控         微電子

 

DMD無(wú)掩膜光刻機(jī)指標(biāo)參數(shù):

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